连云港viber x5振动分析仪-金斗云测控

昆山金斗云测控设备有限公司（goc）是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典vmi viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题

光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，精度为七纳米至几微米之间，光刻机是上精密的仪器，对振动的要求非常高。瑞典vmi viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为vc微振动标准，vc微振动标准分为：vc-a、 vc-b、 vc-c、 vc-d、 vc-e、 vc-f、vc-g。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足cv-d 6.25um/s rms以下。名的光刻机制造商荷兰asml要求洁净室的楼板及机台振动必须符合vc-d标准才能实施装机，某名半导体制造商使用瑞典vmi viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足vc-c12.5um/s rms，无法满足cv-d 6.25um/s rms。通过瑞典vmi viber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动超标的频率并成功找到振动源，经过瑞典vmi振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

昆山金斗云测控设备有限公司（goc）是一家多元化科技型企业。goc公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发，以创造工业预测维修的价值为宗旨。

瑞典vmi振动分析仪viber x5规格说明：

常规功能

数据记录器

利用数据记录器你可以连续地测量 1 或 2 个通道时间或者计数的振动值（总值）， 此功能主要用于监测设备一段时间内非周期性的---振动。

总值测量

这个程序用来分析诸如拧紧螺丝和一些其他机械改变行动产生的影响，它也用来给出关于机器振动状态的一个快速评估。