




?测量原理和方法
平面度误差是指被测实际表面对其理想平面的变动量。常用测量方法有:激光干涉仪,电
子水平仪,自准直仪,平晶法,打表法等。大中尺寸平面度测量常采用自准直仪、激光干涉仪、
电子水平仪,小尺寸平面度测量常用平晶法测量。本文讲述采用对角线法,利用激光干涉仪测
量直线运动过程中的小角度,以二乘法计算测量结果,间接得出被测平面的平面度误差。
对角线法又称米字法,在平面度测量时,激光对中仪品牌,若激光干涉仪主机位于---,常州激光对中仪,激光束与线ge重
合,建议按照ea、ca、dh、eg、ag、bf、ce、gc的次序进行测量。

r码是为了提高读数精度和求视距二安排的。设两组r码的间距为p(=30mm),它在ccd行阵.
上成象所占的象素个数为z.象素宽为d(=25μ m),激光对中仪使用方法,则p在ccd行阵上的成象长度为:
l=z*b (1- 5)
z可由一信号分析中得出,b是ccd光敏窗口的宽度,因此1和p都为已知数据。根据几何光
学成象原理,可以象传统仪器用视距丝测量距离的视距测量原理-样求出视距:
d=p/1*f (1- 6)
式中f是望远镜物镜的焦距。同时还可以求出物象比
a=p/1 (1- 7)
于是将测量信号放大到与标尺.上的一样时,再进行相位测量,就可以得出相位差,即视线
高。
电子水准仪的三种测量原理各有奥妙,三类仪器都经受了各种检验和实际测量的考验,能胜任
精密水准测量作业。
借助于微倾螺旋获得水平视线的一种常用水准仪。作业时先用圆水准器将仪器粗略整平,每次读数前再借助微倾螺旋,使符合水准器在竖直面内俯仰,直到符合水准气泡居中,使视线水平。微倾的精密水准仪同普通水准仪比较,前者管水准器的分划值小、灵敏度高,望远镜的放大倍率大,明亮度强,仪器结构坚固,---是望远镜与管水准器之间的联接牢固,激光对中仪的使用,装有光学测微器,并配有精密水准标尺,以提高读数精度。

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